時(shí)間：10月24日下午2：00
地點(diǎn)：7D-101
報(bào)告人：陳本永 教授
報(bào)告題目：激光干涉納米位移測(cè)量技術(shù)
內(nèi)容簡(jiǎn)介：大范圍高精度的納米位移測(cè)量技術(shù)及儀器屬精密測(cè)量科學(xué)研究的重點(diǎn)內(nèi)容。目前，隨著超精密加工、微電子制造等高新技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)納米位移測(cè)量技術(shù)及儀器提出了既要測(cè)量范圍大又要同時(shí)達(dá)到納米級(jí)測(cè)量精度的要求，例如，超精密加工技術(shù)領(lǐng)域中超精密加工的定位精度不斷提高而運(yùn)動(dòng)范圍不斷增加，微電子技術(shù)領(lǐng)域中超大規(guī)模集成電路芯片線寬不斷縮小而硅晶片尺寸不斷擴(kuò)大，以及各種掃描探針顯微鏡、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開大范圍高精度的納米位移測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)或標(biāo)定。報(bào)告介紹了激光合成波長(zhǎng)納米位移測(cè)量原理與方法、基于法拉第效應(yīng)的激光偏振干涉多自由度測(cè)量原理和方法，分析了激光干涉納米位移測(cè)量的科學(xué)問題、關(guān)鍵技術(shù)和發(fā)展趨勢(shì)。
陳本永簡(jiǎn)介：男，1965.12生，博士，教授，博士生導(dǎo)師，“長(zhǎng)江學(xué)者”特聘教授，浙江理工大學(xué)機(jī)械與自動(dòng)控制學(xué)院副院長(zhǎng)；浙江大學(xué)機(jī)械工程專業(yè)博士，清華大學(xué)光學(xué)工程專業(yè)博士后；教育部“微/納驅(qū)動(dòng)、測(cè)量及其應(yīng)用”創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)帶頭人，“新世紀(jì)百千萬人才工程”國(guó)家級(jí)入選者，享受國(guó)務(wù)院政府特殊津貼，浙江省有突出貢獻(xiàn)中青年專家，浙江省“151人才工程”重點(diǎn)資助培養(yǎng)人員，浙江省高等學(xué)校優(yōu)秀青年教師資助計(jì)劃資助對(duì)象，校教學(xué)名師；中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)理事，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)測(cè)量與控制專業(yè)委員會(huì)副主任委員，中國(guó)測(cè)試計(jì)量學(xué)會(huì)幾何量測(cè)量專業(yè)委員會(huì)、計(jì)量?jī)x器專業(yè)委員會(huì)等委員。主持國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目5項(xiàng)（科學(xué)儀器專項(xiàng)1項(xiàng)、重大研究計(jì)劃培育項(xiàng)目1項(xiàng)，面上項(xiàng)目3項(xiàng)），參加973計(jì)劃項(xiàng)目1項(xiàng)和863計(jì)劃項(xiàng)目2項(xiàng)；發(fā)表學(xué)術(shù)論文70余篇，被SCI收錄30多篇、EI收錄40多篇；授權(quán)發(fā)明專利10項(xiàng)；以第一完成人獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)和浙江省科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)各1項(xiàng)，以第二完成人獲浙江省科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)。主要研究方向?yàn)榧{米測(cè)量技術(shù)及儀器，微驅(qū)動(dòng)器與微執(zhí)行器技術(shù)，精密測(cè)量與控制技術(shù)。
